化学气相沉积设备、方法及用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711005202.5

申请日：

2017-10-24

公开(公告)号：

CN107815664A

公开(公告)日：

2018-03-20

发明(设计)人：

郭国平杨晖李海欧曹刚肖明郭光灿

申请人：

申请人地址：

230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C1626 C23C1644

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

程纾孟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	公开	公开
2018-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20171024

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备 [P].

郭国平 ;

杨晖 ;

李海欧 ;

曹刚 ;

肖明 ;

郭光灿 .

中国专利 :CN207418858U ,2018-05-29

[2]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN118814133A ,2024-10-22

[3]

化学气相沉积设备 [P].

白晓航 ;

汪伟 ;

刘兆平 .

中国专利 :CN106756895A ,2017-05-31

[4]

化学气相沉积设备、泵浦衬套及化学气相沉积方法 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

李志聪 ;

邱云姿 ;

万昭宏 .

中国专利 :CN112501587A ,2021-03-16

[5]

化学气相沉积载台结构及化学气相沉积设备 [P].

朱合意 ;

贾钊 ;

窦志珍 ;

胡恒广 .

中国专利 :CN222524669U ,2025-02-25

[6]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[7]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

[8]

化学气相沉积设备 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102108498B ,2011-06-29

[9]

化学气相沉积设备 [P].

李丙科 .

中国专利 :CN305619181S ,2020-02-18

[10]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN1302152C ,2002-10-23

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