一种降低大尺寸N型直拉单晶硅片碎片率的拉制方法

被引：0

申请号：

CN202211065064.0

申请日：

2022-08-31

公开(公告)号：

CN115652426A

公开(公告)日：

2023-01-31

发明(设计)人：

刘立中王军磊王艺澄

申请人：

申请人地址：

014010 内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号

IPC主分类号：

C30B2906

IPC分类号：

C30B1504

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

任立

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20220831
2023-01-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于降低大尺寸直拉单晶硅片缺陷的拉制方法 [P].

刘立中 ;

王军磊 ;

王艺澄 .

中国专利 :CN113604870A ,2021-11-05

[2]

一种超薄单晶硅片的直拉制备方法 [P].

丁建宁 ;

袁宁一 .

中国专利 :CN103014838A ,2013-04-03

[3]

一种大尺寸高品质n型单晶硅片的制备方法 [P].

郭小飞 ;

付少剑 ;

方涛 ;

戴欣欣 ;

高芳丽 ;

柳冉冉 ;

蒋红洁 ;

许明艳 .

中国专利 :CN117187938B ,2024-08-30

[4]

一种降低炉压生长n型直拉单晶硅的方法 [P].

余学功 ;

黄杰 ;

胡泽晨 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN114540950A ,2022-05-27

[5]

一种N型直拉单晶硅的制备方法 [P].

王鑫 ;

王艺澄 ;

王军磊 ;

兰志勇 ;

何玉玺 .

中国专利 :CN117737831A ,2024-03-22

[6]

一种降低碎片率的单晶硅片脱胶工装制具 [P].

陈金桃 ;

谢士强 ;

陶慧生 ;

袁建建 .

中国专利 :CN114496897A ,2022-05-13

[7]

直拉法拉制单晶硅棒的方法、单晶硅棒、硅片及外延硅片 [P].

宋少杰 ;

车贤湖 ;

宋振亮 ;

王晨阳 .

中国专利 :CN115404539A ,2022-11-29

[8]

N型直拉单晶硅的制备方法 [P].

乔松 ;

司佳勇 ;

周浩 ;

唐磊 ;

尹东坡 ;

郭凯 .

中国专利 :CN103014836A ,2013-04-03

[9]

一种N型单晶硅片的制备方法 [P].

李吉 ;

夏利鹏 ;

赵朋松 ;

顾生刚 ;

杨二存 ;

赵本定 ;

刘海金 ;

赵小平 .

中国专利 :CN111180550A ,2020-05-19

[10]

一种提高大尺寸N型硅片转换效率的方法 [P].

刘立中 ;

王艺澄 ;

王军磊 .

中国专利 :CN114016122A ,2022-02-08

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