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一种高速流离子注入机中离子束的调整装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610914560.7
申请日：
2016-10-20
公开(公告)号：
CN106373849A
公开(公告)日：
2017-02-01
发明(设计)人：
刘洋
申请人：
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号：
H01J37317
IPC分类号：
H01J37147
H01J3704
代理机构：
北京轻创知识产权代理有限公司 11212
代理人：
杨立;陈振玉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705800694 IPC(主分类):H01J 37/317 专利申请号:2016109145607 申请日:20161020 |
| 2017-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-08 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J 37/317 申请公布日:20170201 |