真空镀膜前处理加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610003478.9

申请日：

2016-01-04

公开(公告)号：

CN105586567A

公开(公告)日：

2016-05-18

发明(设计)人：

徐金根郝立鹏

申请人：

申请人地址：

224200 江苏省盐城市东台经济开发区纬六路5号

IPC主分类号：

C23C1402

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋;侯潇潇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101665078738 IPC(主分类):C23C 14/02 专利申请号:2016100034789 申请日:20160104
2020-12-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20160104 授权公告日:20190514 终止日期:20200104
2016-05-18	公开	公开
2019-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[2]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[3]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[5]

真空镀膜装置及其真空镀膜方法 [P].

熊丹 .

中国专利 :CN104120399A ,2014-10-29

[6]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈益钢 ;

程竞经 .

中国专利 :CN111575652A ,2020-08-25

[7]

真空镀膜系统及真空镀膜方法 [P].

赵子铭 ;

李博研 ;

钟大龙 ;

赵明 .

中国专利 :CN117551977A ,2024-02-13

[8]

真空镀膜加工腔体 [P].

郑国 ;

杨正平 .

中国专利 :CN308751999S ,2024-07-26

[9]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

戴晓东 ;

余海春 ;

杨启忠 .

中国专利 :CN118621290A ,2024-09-10

[10]

真空镀膜前热处理吹扫设备 [P].

李嘉 ;

马高 ;

何江海 ;

张军 .

中国专利 :CN114351085B ,2024-04-09

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