单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910712531.6

申请日：

2019-08-02

公开(公告)号：

CN112304213B

公开(公告)日：

2021-02-02

发明(设计)人：

胡鹏程常笛王嘉宁谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B902015

IPC分类号：

G01B1102 G01D5353 G01D538

代理机构：

哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211

代理人：

孙莉莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20190802
2022-06-14	授权	授权
2021-02-02	公开	公开

共 50 条

[1]

二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 [P].

胡鹏程 ;

王嘉宁 ;

常笛 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN112444194B ,2021-03-05

[2]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量方法 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

倪畅 ;

成荣 ;

杨开明 ;

叶伟楠 ;

王磊杰 ;

丁思奇 ;

崔健章 .

中国专利 :CN106289068A ,2017-01-04

[3]

三自由度读数头、光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

高磊 ;

高立冬 ;

李怀斌 .

中国专利 :CN118936302A ,2024-11-12

[4]

法布里珀罗腔及其制造方法、干涉仪及光波长测量方法 [P].

李忠孝 .

中国专利 :CN106197260A ,2016-12-07

[5]

基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

刘召 ;

吴亚风 ;

成荣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759655B ,2014-04-30

[6]

一种外差式六自由度测量光栅干涉仪及六自由度测量方法 [P].

李星辉 ;

崔璨 ;

杨孟涵 .

中国专利 :CN119085478A ,2024-12-06

[7]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

杨开明 ;

刘召 ;

成荣 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

秦慧超 .

中国专利 :CN103307986A ,2013-09-18

[8]

一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

刘召 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

吴亚风 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

杨开明 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759654B ,2014-04-30

[9]

法布里珀罗腔及干涉仪 [P].

李忠孝 .

中国专利 :CN205991777U ,2017-03-01

[10]

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20

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