反射镜组、生长反射镜组的方法、光学器件和光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011433694.X

申请日：

2020-12-10

公开(公告)号：

CN112230315B

公开(公告)日：

2021-01-15

发明(设计)人：

李志超廖传武侯炳泽贺亮

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期1栋4层03号A613室(自贸区武汉片区)

IPC主分类号：

G02B509

IPC分类号：

G02B642

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/09 申请日:20201210
2021-01-15	公开	公开
2021-03-09	授权	授权

共 50 条

[1]

反射镜组、光学器件和光学系统 [P].

李志超 ;

廖传武 ;

侯炳泽 ;

贺亮 .

中国专利 :CN112987153B ,2021-06-18

[2]

EUV反射镜和包括EUV反射镜的光学系统 [P].

T.希克坦兹 ;

H-J.保罗 ;

C.扎克齐克 .

中国专利 :CN104919537B ,2015-09-16

[3]

用于光学系统的反射镜组固定装置 [P].

李锦清 ;

李屹 .

中国专利 :CN205608275U ,2016-09-28

[4]

EUV反射镜布置、包括EUV反射镜布置的光学系统以及操作包括EUV反射镜布置的光学系统的方法 [P].

U.丁格 ;

F.比杰科克 ;

M.拜拉克塔 ;

O.迪尔 .

中国专利 :CN103443863B ,2013-12-11

[5]

光刻曝光设备的反射镜布置和包括反射镜布置的光学系统 [P].

W.B.J.哈克福特 ;

R.P.霍杰沃尔斯特 ;

P.T.罗格斯 ;

K.希尔德 ;

T.格鲁纳 .

中国专利 :CN107851473A ,2018-03-27

[6]

反射镜及其制作方法、光学系统 [P].

舒国阳 ;

朱海 ;

赵冉 ;

徐文伟 .

中国专利 :CN120103532A ,2025-06-06

[7]

反射镜座、光学系统和投射曝光设备 [P].

R·奥尔利克 ;

D·佩茨 ;

A·加拉提杜 ;

J·克鲁伊斯 ;

M·纳夫兹 ;

K·里弗 .

德国专利 :CN120283187A ,2025-07-08

[8]

一种用于防反射光学系统的反射镜组固定装置 [P].

李树海 .

中国专利 :CN209356739U ,2019-09-06

[9]

反射镜组结构改良 [P].

江俊贤 .

中国专利 :CN2826462Y ,2006-10-11

[10]

反射镜、反射镜组及反射式光谱仪 [P].

张建邦 ;

朱国强 .

中国专利 :CN204241715U ,2015-04-01

← 1 2 3 4 5 →