SE掺杂用掩膜胶及其制备方法和应用

被引：0

申请号：

CN202210000180.8

申请日：

2022-01-01

公开(公告)号：

CN114479658A

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

邓舜马琦雯

申请人：

申请人地址：

213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

IPC主分类号：

C09D18304

IPC分类号：

C09D761 H01L21225 H01L3118

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	授权	授权
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09D 183/04 申请日:20220101
2022-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜胶及其制备和使用方法 [P].

章圆圆 ;

区升举 ;

张丽娟 .

中国专利 :CN103387782B ,2013-11-13

[2]

掩膜的制备方法及其应用 [P].

朱明光 ;

王子港 ;

吴魁艺 ;

刘仲雨 .

中国专利 :CN120048728A ,2025-05-27

[3]

低成本掩膜版及其制备方法和应用该掩膜版的光刻方法 [P].

解东泰 ;

陈春生 ;

赵培培 .

中国专利 :CN120103666A ,2025-06-06

[4]

一种溶液掩膜分子及其制备方法和应用 [P].

李经方 ;

邓琪麓 ;

李文杰 ;

谢广新 ;

周贤菊 .

中国专利 :CN118047709A ,2024-05-17

[5]

磷掺杂石墨烯及其制备方法和应用 [P].

侯仰龙 ;

张辰振 .

中国专利 :CN103864057A ,2014-06-18

[6]

链式吸杂用磷源及其制备方法和应用 [P].

任常瑞 ;

张佳舟 ;

符黎明 .

中国专利 :CN115148848A ,2022-10-04

[7]

一种金属掩膜板及其制备方法和应用 [P].

陈赟斐 ;

吴炫烨 .

中国专利 :CN118778351A ,2024-10-15

[8]

阻胶离型膜及其制备方法和应用 [P].

金亚东 ;

杨承翰 ;

李凯旋 ;

朱正平 .

中国专利 :CN111002675A ,2020-04-14

[9]

耐高温胶及其制备方法和应用 [P].

程晨 ;

张婷 ;

阮天新 ;

肖倩 ;

朱建华 ;

施威 ;

熊晓磊 .

中国专利 :CN112011291B ,2020-12-01

[10]

一种掩膜板及该掩膜板的制备方法和应用 [P].

何麟 ;

陈红 ;

刘嵩 ;

李维维 .

中国专利 :CN103757588B ,2014-04-30

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