一种籽晶托盘、晶体生长设备和碳化硅晶体

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121808389.4
申请日
2021-08-04
公开(公告)号
CN215251328U
公开(公告)日
2021-12-21
发明(设计)人
薛卫明 马远 潘尧波
申请人
申请人地址
315336 浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号3号楼105-1室
IPC主分类号
C30B2300
IPC分类号
C30B2936
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
苗晓娟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
籽晶托和碳化硅晶体生长装置 [P]. 
翟虎 ;
孙金梅 .
中国专利 :CN221398164U ,2024-07-23
[2]
碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P]. 
徐良 ;
曹力力 ;
蓝文安 ;
朱卫祥 ;
阳明益 ;
刘建哲 ;
余雅俊 .
中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10
[3]
碳化硅晶体生长设备 [P]. 
许成凯 ;
陈俊宏 .
中国专利 :CN218203165U ,2023-01-03
[4]
碳化硅晶体生长设备 [P]. 
李远田 .
中国专利 :CN223003066U ,2025-06-20
[5]
碳化硅晶体生长设备 [P]. 
李兆颖 ;
陈俊宏 ;
吴亚娟 ;
周来平 .
中国专利 :CN218203166U ,2023-01-03
[6]
碳化硅晶体生长设备 [P]. 
燕靖 ;
吴建 ;
吴亚娟 .
中国专利 :CN216663296U ,2022-06-03
[7]
碳化硅晶体生长设备 [P]. 
杨翠柏 ;
方聪 ;
杨光辉 ;
陈丙振 .
中国专利 :CN206396359U ,2017-08-11
[8]
一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备 [P]. 
汪良 ;
张洁 .
中国专利 :CN215668293U ,2022-01-28
[9]
碳化硅晶体生长容器和具有其的碳化硅晶体生长设备 [P]. 
李远田 ;
韩倩 ;
吴安楠 ;
尹良良 ;
胡家乐 .
中国专利 :CN120889022A ,2025-11-04
[10]
碳化硅晶体生长容器和具有其的碳化硅晶体生长设备 [P]. 
李远田 ;
韩倩 ;
吴安楠 ;
尹良良 ;
胡家乐 .
中国专利 :CN120925070A ,2025-11-11