籽晶托和碳化硅晶体生长装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323096475.9

申请日：

2023-11-16

公开(公告)号：

CN221398164U

公开(公告)日：

2024-07-23

发明(设计)人：

翟虎孙金梅

申请人：

北京旭灿半导体科技有限公司东旭集团有限公司

申请人地址：

101408 北京市怀柔区渤海镇环镇路82号1172室

IPC主分类号：

C30B23/00

IPC分类号：

C30B29/36

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

陈静

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-23	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

朱卫祥 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10

[2]

碳化硅晶体生长用石墨组件及碳化硅晶体生长装置 [P].

钱昊 ;

梁刚强 ;

苏奕霖 ;

李强 ;

杨倩倩 .

中国专利 :CN220433065U ,2024-02-02

[3]

碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

李京波 ;

夏建白 ;

陈素春 .

中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04

[4]

碳化硅晶体生长装置 [P].

薛卫明 ;

马远 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN217757758U ,2022-11-08

[5]

碳化硅晶体生长装置 [P].

洪棋典 ;

张洁 ;

廖弘基 ;

杨树 .

中国专利 :CN215593238U ,2022-01-21

[6]

碳化硅晶体生长装置 [P].

杨树 ;

张洁 .

中国专利 :CN221071723U ,2024-06-04

[7]

碳化硅复合籽晶及晶体生长装置 [P].

陈泽斌 ;

张洁 .

中国专利 :CN221918322U ,2024-10-29

[8]

碳化硅晶体生长装置、方法及碳化硅晶体 [P].

刘曦 .

中国专利 :CN116815320B ,2024-01-12

[9]

碳化硅晶体生长坩埚、籽晶及晶体生长方法 [P].

欧阳鹏根 ;

张志伟 ;

汪传勇 ;

胡建荣 .

中国专利 :CN119710929A ,2025-03-28

[10]

碳化硅晶体生长用籽晶黏合治具 [P].

郭正富 ;

蔡国基 ;

许仙薇 .

中国专利 :CN217869185U ,2022-11-22

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