碳纳米管场效应管的制备方法、制备装置及电子器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810992462.4

申请日：

2018-08-29

公开(公告)号：

CN109326714A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

董立军谢雨农张志勇彭练矛

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

H01L5140

IPC分类号：

H01L5105

代理机构：

北京鼎承知识产权代理有限公司 11551

代理人：

李伟波;孟奎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/40 申请日:20180829
2019-02-12	公开	公开
2020-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

碳纳米管式集成场效应管 [P].

赵继刚 ;

王太宏 .

中国专利 :CN2556790Y ,2003-06-18

[2]

碳纳米管薄膜场效应晶体管的制备方法 [P].

陈长鑫 ;

胡林 ;

张亚非 ;

潘晓艳 ;

张伟 .

中国专利 :CN101540285B ,2009-09-23

[3]

基于碳纳米管场效应管生物传感器的制备方法及应用 [P].

高力 ;

张瑶 ;

吕秋香 .

中国专利 :CN115629115A ,2023-01-20

[4]

碳纳米管薄膜的表面聚合物的去除方法及电子器件 [P].

董立军 ;

谢雨农 ;

张志勇 ;

彭练矛 .

中国专利 :CN109225094A ,2019-01-18

[5]

一种碳纳米管场效应管器件的建模方法及建模装置 [P].

张芯瑞 ;

陈岚 ;

刘宏伟 .

中国专利 :CN114707455A ,2022-07-05

[6]

碳纳米管式集成场效应管及其制备工艺 [P].

赵继刚 ;

王太宏 .

中国专利 :CN1466214A ,2004-01-07

[7]

应用碳纳米管作为导电沟槽的鳍式场效应管及其制备方法 [P].

杨湛 ;

陈涛 ;

刘会聪 ;

陈冬蕾 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107819037A ,2018-03-20

[8]

一种碳纳米管纳电子器件及其制备方法 [P].

梁学磊 ;

张志勇 ;

王胜 ;

姚琨 ;

胡又凡 ;

陈清 ;

彭练矛 .

中国专利 :CN101252145B ,2008-08-27

[9]

一种碳纳米管场效应晶体管有源层的制备方法 [P].

潘革波 ;

肖燕 .

中国专利 :CN102856211A ,2013-01-02

[10]

基于碳纳米管场效应晶体管的生物检测器件的制造方法 [P].

吴明红 ;

付群 ;

王德庆 .

中国专利 :CN101520430B ,2009-09-02

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