一种用于碳化硅晶体生长炉的石英腔体结构

被引：0

申请号：

CN202122933432.6

申请日：

2021-11-26

公开(公告)号：

CN216274469U

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

刘英斌赵丽霞魏汝省周立平李大恭张继光李胜华徐雅坤张馨丹

申请人：

申请人地址：

030006 山西省太原市综改示范区太原唐槐园区唐槐路5号

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B3500

代理机构：

太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109

代理人：

吴立;冷锦超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶体生长炉 [P].

胡家乐 .

中国专利 :CN221626443U ,2024-08-30

[2]

碳化硅晶体生长炉 [P].

高冰 .

中国专利 :CN115094513A ,2022-09-23

[3]

碳化硅晶体生长炉 [P].

黄鸣 ;

丁文革 ;

谭三成 ;

曹永新 .

中国专利 :CN102877133B ,2013-01-16

[4]

碳化硅晶体生长炉 [P].

刘鹏 ;

徐文立 ;

胡建宇 ;

余圣杰 .

中国专利 :CN307653137S ,2022-11-11

[5]

一种碳化硅晶体生长炉 [P].

李晓峰 .

中国专利 :CN223255528U ,2025-08-22

[6]

一种碳化硅晶体生长炉炉壁结构 [P].

姚恒 ;

姚泰 .

中国专利 :CN221940687U ,2024-11-01

[7]

一种碳化硅晶体生长炉和碳化硅晶体生长方法 [P].

范涛礼 ;

陈建明 ;

蔡金荣 ;

张江涛 ;

赵文超 .

中国专利 :CN118272918B ,2024-10-11

[8]

一种碳化硅晶体生长炉和碳化硅晶体生长方法 [P].

范涛礼 ;

陈建明 ;

蔡金荣 ;

张江涛 ;

赵文超 .

中国专利 :CN118272918A ,2024-07-02

[9]

一种碳化硅晶体生长检测装置、方法及碳化硅晶体生长炉 [P].

皮孝东 ;

沈典宇 ;

王蓉 ;

王芸霞 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN114371223B ,2022-04-19

[10]

晶体生长炉及具有其的碳化硅晶体生长装置 [P].

姚恒 ;

卞洪阳 ;

姚泰 .

中国专利 :CN214830790U ,2021-11-23

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