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金刚石衬底GaN HEMT与氢终端MOSFET集成结构及其制备方法
被引:0
申请号
:
CN202210090160.4
申请日
:
2022-01-25
公开(公告)号
:
CN114551445A
公开(公告)日
:
2022-05-27
发明(设计)人
:
武玫
马晓华
李仕明
侯斌
杨凌
张濛
郝跃
申请人
:
申请人地址
:
710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
IPC主分类号
:
H01L27088
IPC分类号
:
H01L23373
H01L218258
代理机构
:
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人
:
王萌
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-06-14
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/088 申请日:20220125
2022-05-27
公开
公开
共 50 条
[1]
GaN HEMTs与顶层氢终端金刚石MOSFETs集成结构及其制备方法
[P].
武玫
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武玫
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李仕明
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李仕明
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杨凌
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杨凌
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王平
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王平
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侯斌
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侯斌
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张濛
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张濛
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吕玲
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吕玲
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马晓华
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马晓华
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郝跃
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郝跃
.
中国专利
:CN114496934A
,2022-05-13
[2]
顶层p型金刚石MOSFET与GaN HEMT单片异质集成结构及其制备方法
[P].
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杨凌
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武玫
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李仕明
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机构:
西安电子科技大学
西安电子科技大学
李仕明
;
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侯斌
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王平
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吕玲
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张濛
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马晓华
;
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机构:
郝跃
.
中国专利
:CN114551358B
,2025-06-20
[3]
顶层p型金刚石MOSFET与GaN HEMT单片异质集成结构及其制备方法
[P].
杨凌
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杨凌
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武玫
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李仕明
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李仕明
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侯斌
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侯斌
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王平
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王平
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张濛
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马晓华
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郝跃
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郝跃
.
中国专利
:CN114551358A
,2022-05-27
[4]
一种GaN HEMT器件与p型金刚石MOSFET的集成器件及其制备方法
[P].
马晓华
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马晓华
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武玫
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武玫
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李仕明
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李仕明
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郝跃
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郝跃
.
中国专利
:CN114497038A
,2022-05-13
[5]
一种GaN HEMT器件与p型金刚石MOSFET的集成器件及其制备方法
[P].
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机构:
马晓华
;
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机构:
武玫
;
李仕明
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机构:
西安电子科技大学
西安电子科技大学
李仕明
;
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机构:
杨凌
;
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机构:
张濛
;
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机构:
侯斌
;
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机构:
郝跃
.
中国专利
:CN114497038B
,2024-02-06
[6]
一种金刚石衬底GaN HEMT器件及其制备方法
[P].
陈堂胜
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机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
中国电子科技集团公司第五十五研究所
陈堂胜
;
吴立枢
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
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吴立枢
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孔月婵
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
中国电子科技集团公司第五十五研究所
孔月婵
.
中国专利
:CN121038311A
,2025-11-28
[7]
一种用于制作GaN HEMT的横向金刚石/GaN/金刚石衬底及制备方法
[P].
许晟瑞
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许晟瑞
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王心颢
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王心颢
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贠博祥
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贠博祥
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卢灏
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刘旭
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张金风
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郝跃
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郝跃
.
中国专利
:CN114361013A
,2022-04-15
[8]
一种用于制作GaN HEMT的横向金刚石/GaN/金刚石衬底及制备方法
[P].
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机构:
许晟瑞
;
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机构:
王心颢
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徐爽
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张进成
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机构:
张金风
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机构:
郝跃
.
中国专利
:CN114361013B
,2025-08-29
[9]
基于金刚石衬底的氮极性GaN HEMT器件及制备方法
[P].
龚子刚
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机构:
西安电子科技大学芜湖研究院
西安电子科技大学芜湖研究院
龚子刚
;
余海洋
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西安电子科技大学芜湖研究院
西安电子科技大学芜湖研究院
余海洋
;
黄永
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机构:
西安电子科技大学芜湖研究院
西安电子科技大学芜湖研究院
黄永
.
中国专利
:CN119767728B
,2025-12-02
[10]
基于金刚石衬底的氮极性GaN HEMT器件及制备方法
[P].
龚子刚
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机构:
西安电子科技大学芜湖研究院
西安电子科技大学芜湖研究院
龚子刚
;
余海洋
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机构:
西安电子科技大学芜湖研究院
西安电子科技大学芜湖研究院
余海洋
;
黄永
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机构:
西安电子科技大学芜湖研究院
西安电子科技大学芜湖研究院
黄永
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中国专利
:CN119767728A
,2025-04-04
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