金刚石衬底GaN HEMT与氢终端MOSFET集成结构及其制备方法

被引:0
申请号
CN202210090160.4
申请日
2022-01-25
公开(公告)号
CN114551445A
公开(公告)日
2022-05-27
发明(设计)人
武玫 马晓华 李仕明 侯斌 杨凌 张濛 郝跃
申请人
申请人地址
710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
IPC主分类号
H01L27088
IPC分类号
H01L23373 H01L218258
代理机构
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人
王萌
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
GaN HEMTs与顶层氢终端金刚石MOSFETs集成结构及其制备方法 [P]. 
武玫 ;
李仕明 ;
杨凌 ;
王平 ;
侯斌 ;
张濛 ;
吕玲 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114496934A ,2022-05-13
[2]
顶层p型金刚石MOSFET与GaN HEMT单片异质集成结构及其制备方法 [P]. 
杨凌 ;
武玫 ;
李仕明 ;
侯斌 ;
王平 ;
吕玲 ;
张濛 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114551358B ,2025-06-20
[3]
顶层p型金刚石MOSFET与GaN HEMT单片异质集成结构及其制备方法 [P]. 
杨凌 ;
武玫 ;
李仕明 ;
侯斌 ;
王平 ;
吕玲 ;
张濛 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114551358A ,2022-05-27
[4]
一种GaN HEMT器件与p型金刚石MOSFET的集成器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
武玫 ;
李仕明 ;
杨凌 ;
张濛 ;
侯斌 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114497038A ,2022-05-13
[5]
一种GaN HEMT器件与p型金刚石MOSFET的集成器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
武玫 ;
李仕明 ;
杨凌 ;
张濛 ;
侯斌 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114497038B ,2024-02-06
[6]
一种金刚石衬底GaN HEMT器件及其制备方法 [P]. 
陈堂胜 ;
吴立枢 ;
孔月婵 .
中国专利 :CN121038311A ,2025-11-28
[7]
一种用于制作GaN HEMT的横向金刚石/GaN/金刚石衬底及制备方法 [P]. 
许晟瑞 ;
王心颢 ;
贠博祥 ;
卢灏 ;
刘旭 ;
徐爽 ;
张进成 ;
张金风 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114361013A ,2022-04-15
[8]
一种用于制作GaN HEMT的横向金刚石/GaN/金刚石衬底及制备方法 [P]. 
许晟瑞 ;
王心颢 ;
贠博祥 ;
卢灏 ;
刘旭 ;
徐爽 ;
张进成 ;
张金风 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114361013B ,2025-08-29
[9]
基于金刚石衬底的氮极性GaN HEMT器件及制备方法 [P]. 
龚子刚 ;
余海洋 ;
黄永 .
中国专利 :CN119767728B ,2025-12-02
[10]
基于金刚石衬底的氮极性GaN HEMT器件及制备方法 [P]. 
龚子刚 ;
余海洋 ;
黄永 .
中国专利 :CN119767728A ,2025-04-04