硅晶片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780025439.1

申请日：

2017-02-24

公开(公告)号：

CN109075076A

公开(公告)日：

2018-12-21

发明(设计)人：

前田进番场博则须藤治生冈村秀幸荒木浩司末冈浩治中村浩三

申请人：

申请人地址：

日本新潟县

IPC主分类号：

H01L21322

IPC分类号：

C30B2906 C30B3302

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李洋;姜越

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/322 申请日:20170224
2018-12-21	公开	公开

共 50 条

[1]

小野敏昭 ;

高奉均 .

中国专利 :CN111164240B ,2020-05-15

[2]

仙田刚士 ;

泉妻宏治 .

中国专利 :CN105814245B ,2016-07-27

[3]

仙田刚士 ;

泉妻宏治 .

中国专利 :CN108461384A ,2018-08-28

[4]

小野敏昭 ;

梅野繁 .

中国专利 :CN111051580A ,2020-04-21

[5]

渡边隆 ;

齐藤广幸 ;

仙田刚士 ;

泉妻宏治 ;

鹿岛一日儿 .

中国专利 :CN101074489A ,2007-11-21

[6]

硅晶片的清洗方法、硅晶片的制造方法、以及硅晶片 [P].

中尾文彰 ;

芦马溪 ;

小田悠 .

日本专利 :CN121219817A ,2025-12-26

[7]

硅晶片的制造方法及硅晶片 [P].

杉森胜久 ;

小佐佐和明 .

中国专利 :CN105097444B ,2015-11-25

[8]

硅晶片和硅晶片的制造方法 [P].

藤濑淳 ;

小野敏昭 .

日本专利 :CN113745093B ,2024-05-10

[9]

硅晶片和硅晶片的制造方法 [P].

藤濑淳 ;

小野敏昭 .

中国专利 :CN113745093A ,2021-12-03

[10]

硅晶片的制造方法和硅晶片 [P].

神野清治 ;

中岛亮 ;

又川敏 .

中国专利 :CN106030764A ,2016-10-12

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