一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910844293.4

申请日：

2019-09-06

公开(公告)号：

CN110487192A

公开(公告)日：

2019-11-22

发明(设计)人：

王汉奎张雪涛徐彤

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区和平街西苑2号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577

代理人：

管士涛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-22	公开	公开
2019-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20190906

共 50 条

[1]

一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法 [P].

王汉奎 ;

张雪涛 ;

徐彤 .

中国专利 :CN110487192B ,2024-09-13

[2]

一种试样厚度测量装置 [P].

王汉奎 ;

张雪涛 ;

徐彤 .

中国专利 :CN210603206U ,2020-05-22

[3]

试样厚度测量装置 [P].

王元明 ;

陈宇 ;

齐洪刚 .

中国专利 :CN204405045U ,2015-06-17

[4]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

日本专利 :CN114325734B ,2025-02-25

[5]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[6]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN114325734A ,2022-04-12

[7]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN107037437B ,2017-08-11

[8]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[9]

一种厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

马砚忠 ;

鄂家骅 ;

袁明波 ;

余涛 ;

郁健 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120702401A ,2025-09-26

[10]

硅片厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

张宁轩 .

中国专利 :CN119573530A ,2025-03-07

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