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一种厚度测量装置及厚度测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510706569.8
申请日：
2025-05-28
公开(公告)号：
CN120702401A
公开(公告)日：
2025-09-26
发明(设计)人：
马砚忠
鄂家骅
袁明波
余涛
郁健
陈鲁
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址：
518110 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102
IPC主分类号：
G01B21/08
IPC分类号：
G01B21/20
G01B21/32
G01C21/00
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
马天琪
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-26 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 21/08申请日:20250528 |