一种实时厚度测量方法和厚度测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411751525.9

申请日：

2024-12-02

公开(公告)号：

CN119648772A

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

张杰陈扬司程鑫

申请人：

中科苏州智能计算技术研究院中科淞塔（苏州）科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园D1单元

IPC主分类号：

G06T7/60

IPC分类号：

G01B11/06 G01B11/24 G06T7/73 G06T7/80 G06T7/00 G06V10/40 G06V10/54 G06V10/75

代理机构：

苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623

代理人：

王春丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	公开	公开
2025-04-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/60申请日:20241202

共 50 条

[1]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279969A ,2015-01-14

[2]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

本胁淑雄 .

中国专利 :CN107305118A ,2017-10-31

[3]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763A ,2021-01-12

[4]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763B ,2025-10-03

[5]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[6]

一种厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

蔡道炎 ;

王进东 ;

敖学如 ;

饶晓雷 ;

胡伯平 .

中国专利 :CN103868461A ,2014-06-18

[7]

一种厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

马砚忠 ;

鄂家骅 ;

袁明波 ;

余涛 ;

郁健 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120702401A ,2025-09-26

[8]

一种硅片厚度测量装置及测量方法 [P].

王云祥 ;

付晨 ;

方丹 ;

王震 .

中国专利 :CN118816728A ,2024-10-22

[9]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

日本专利 :CN114325734B ,2025-02-25

[10]

厚度测量装置与厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279968B ,2018-05-22

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