一种碳化硅晶片刷洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821020046.X

申请日：

2018-06-29

公开(公告)号：

CN208786994U

公开(公告)日：

2019-04-26

发明(设计)人：

林武庆张洁赖柏帆陈文鹏

申请人：

申请人地址：

362211 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

IPC主分类号：

B08B102

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶片刷洗装置 [P].

蒋宇飞 ;

蒋焰云 ;

朱建国 .

中国专利 :CN210966024U ,2020-07-10

[2]

一种碳化硅晶片刷洗品质的装置 [P].

林武庆 ;

张洁 ;

赖柏帆 ;

陈文鹏 .

中国专利 :CN208613127U ,2019-03-19

[3]

一种碳化硅晶片加工装置 [P].

卢小东 .

中国专利 :CN214642332U ,2021-11-09

[4]

碳化硅晶片退火装置 [P].

夏海洋 ;

刘少晗 ;

张旭 .

中国专利 :CN222251130U ,2024-12-27

[5]

碳化硅晶片清洗装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

夏建白 ;

李京波 ;

郭炜 ;

叶继春 .

中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27

[6]

碳化硅晶片检查装置 [P].

刘素娟 ;

刘振洲 ;

鲍慧强 ;

刘雪梅 ;

叶欣怡 ;

王增泽 ;

杨帅 ;

李宪宾 ;

赵然 .

中国专利 :CN217931449U ,2022-11-29

[7]

碳化硅衬底、碳化硅晶片、碳化硅半导体装置 [P].

上东秀幸 .

日本专利 :CN118374882A ,2024-07-23

[8]

一种碳化硅晶片磨削装置 [P].

冯磊 ;

蒋鹏 ;

刘海鹰 .

中国专利 :CN209239779U ,2019-08-13

[9]

一种碳化硅晶片切割装置 [P].

邓磊 ;

杨明晨 .

中国专利 :CN221540264U ,2024-08-16

[10]

碳化硅晶体及碳化硅晶片 [P].

林钦山 .

中国专利 :CN117364247A ,2024-01-09

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