一种碳化硅晶片加工装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022820472.5

申请日：

2020-11-30

公开(公告)号：

CN214642332U

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

卢小东

申请人：

申请人地址：

100744 北京市大兴区经济技术开发区地盛西路6号院3号楼3层302-2

IPC主分类号：

B24B722

IPC分类号：

B24B4106 B24B4912 B23K2636 B23K2603 B23K2670

代理机构：

北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717

代理人：

张宇锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶碳化硅晶片加工装置 [P].

林武庆 ;

张洁 ;

苏双图 ;

陈文鹏 .

中国专利 :CN211028572U ,2020-07-17

[2]

一种用于碳化硅晶片表面加工装置 [P].

周杰 ;

李有群 ;

贺贤汉 ;

殷雪苑 ;

吴寒 .

中国专利 :CN218169775U ,2022-12-30

[3]

一种单晶碳化硅晶片加工装置 [P].

刘敏 .

中国专利 :CN214361823U ,2021-10-08

[4]

一种用于碳化硅晶片表面加工装置 [P].

陈宇翔 ;

翟会阳 ;

李永波 ;

李纪宏 .

中国专利 :CN221210986U ,2024-06-25

[5]

一种用于碳化硅晶片表面加工装置 [P].

李春财 ;

张吉 .

中国专利 :CN222037862U ,2024-11-22

[6]

一种碳化硅晶片刷洗装置 [P].

林武庆 ;

张洁 ;

赖柏帆 ;

陈文鹏 .

中国专利 :CN208786994U ,2019-04-26

[7]

一种碳化硅毛坯打磨加工装置 [P].

马红彬 ;

宛鹏 .

中国专利 :CN213795784U ,2021-07-27

[8]

碳化硅晶片退火装置 [P].

夏海洋 ;

刘少晗 ;

张旭 .

中国专利 :CN222251130U ,2024-12-27

[9]

碳化硅晶片清洗装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

夏建白 ;

李京波 ;

郭炜 ;

叶继春 .

中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27

[10]

碳化硅晶片检查装置 [P].

刘素娟 ;

刘振洲 ;

鲍慧强 ;

刘雪梅 ;

叶欣怡 ;

王增泽 ;

杨帅 ;

李宪宾 ;

赵然 .

中国专利 :CN217931449U ,2022-11-29

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