一种半导体电镀设备及其使用方法

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专利类型
发明
申请号
CN202010369340.7
申请日
2020-05-03
公开(公告)号
CN111455442A
公开(公告)日
2020-07-28
发明(设计)人
夏玮玮
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市相城区黄埭镇康阳路168号
IPC主分类号
C25D1900
IPC分类号
C25D712 B08B302
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
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