一种钼钛合金靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210497167.4

申请日：

2012-11-28

公开(公告)号：

CN103060760A

公开(公告)日：

2013-04-24

发明(设计)人：

白锋于洋赖亚洲彭福生庄志刚宋久鹏石涛王帆郑艾龙

申请人：

申请人地址：

361021 福建省厦门市集美北路工业区连胜路339号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F316 C22C2704 C22C104

代理机构：

厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204

代理人：

连耀忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101461522488 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012104971674 申请日:20121128
2013-04-24	公开	公开
2015-12-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724581667 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012104971674 申请公布日:20130424

共 50 条

[1]

一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法 [P].

席莎 ;

安耿 ;

李晶 ;

赵虎 .

中国专利 :CN104532201A ,2015-04-22

[2]

一种钼钛合金靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

李建 ;

周友平 .

中国专利 :CN120924825A ,2025-11-11

[3]

一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN113463042A ,2021-10-01

[4]

一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法 [P].

文宏福 ;

李培林 .

中国专利 :CN119733824A ,2025-04-01

[5]

一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法 [P].

文宏福 ;

李培林 .

中国专利 :CN119733824B ,2025-10-03

[6]

一种钼钛合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

宋阳阳 ;

廖培君 ;

李建 ;

吴东青 .

中国专利 :CN117961069A ,2024-05-03

[7]

一种制备钼钛合金溅射靶材的方法 [P].

周伟 ;

李倩 ;

辛社伟 ;

李磊 ;

陈军 ;

张思远 .

中国专利 :CN108374152A ,2018-08-07

[8]

一种钼钛合金靶材的制造方法 [P].

陈占洋 ;

徐信森 ;

陈兴友 .

中国专利 :CN111304607A ,2020-06-19

[9]

钨钛合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

吴东青 .

中国专利 :CN111151763A ,2020-05-15

[10]

一种基于梯度烧结的钼钛合金靶材制备方法 [P].

张石明 ;

车玉思 ;

张环 ;

赵转 ;

詹翔 ;

张雷杰 ;

于文静 .

中国专利 :CN120325988A ,2025-07-18

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