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一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411929912.7
申请日
:
2024-12-26
公开(公告)号
:
CN119733824B
公开(公告)日
:
2025-10-03
发明(设计)人
:
文宏福
李培林
申请人
:
广东欧莱高新材料股份有限公司
广东欧莱新金属材料有限公司
申请人地址
:
512000 广东省韶关市武江区创业路5号C幢厂房
IPC主分类号
:
B22F1/00
IPC分类号
:
B22F3/04
B22F3/14
C22F1/18
C22F1/02
代理机构
:
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人
:
林晓宏
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
广东省 韶关市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-18
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):B22F 1/00申请日:20241226
2025-04-01
公开
公开
2025-10-03
授权
授权
共 50 条
[1]
一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法
[P].
文宏福
论文数:
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机构:
广东欧莱高新材料股份有限公司
广东欧莱高新材料股份有限公司
文宏福
;
李培林
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机构:
广东欧莱高新材料股份有限公司
广东欧莱高新材料股份有限公司
李培林
.
中国专利
:CN119733824A
,2025-04-01
[2]
一种钼钛合金靶材的制备方法
[P].
白锋
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白锋
;
于洋
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于洋
;
赖亚洲
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赖亚洲
;
彭福生
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彭福生
;
庄志刚
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庄志刚
;
宋久鹏
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宋久鹏
;
石涛
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石涛
;
王帆
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王帆
;
郑艾龙
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郑艾龙
.
中国专利
:CN103060760A
,2013-04-24
[3]
一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法
[P].
李培林
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李培林
;
文宏福
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文宏福
.
中国专利
:CN110158042B
,2019-08-23
[4]
一种大型高纯钼合金旋转靶材的制造方法
[P].
张灵杰
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0
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张灵杰
.
中国专利
:CN106567048B
,2017-04-19
[5]
一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法
[P].
吴宇宁
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吴宇宁
;
卿海标
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卿海标
.
中国专利
:CN113463053A
,2021-10-01
[6]
一种钼钛合金靶材的制备方法
[P].
边逸军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
边逸军
;
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
李建
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
李建
;
周友平
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
周友平
.
中国专利
:CN120924825A
,2025-11-11
[7]
一种大尺寸钼靶材的制备方法
[P].
章林
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章林
;
李星宇
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李星宇
;
曲选辉
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曲选辉
;
熊宁
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熊宁
;
刘国辉
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刘国辉
;
秦明礼
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秦明礼
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陈刚
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陈刚
;
张百成
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张百成
;
王广达
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王广达
;
魏子晨
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魏子晨
;
阙忠游
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阙忠游
;
杨军军
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杨军军
.
中国专利
:CN114574821A
,2022-06-03
[8]
一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法
[P].
张灵杰
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张灵杰
.
中国专利
:CN113463042A
,2021-10-01
[9]
一种SAZO合金旋转靶材的制备方法
[P].
温景成
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机构:
湖南玉丰真空科学技术有限公司
湖南玉丰真空科学技术有限公司
温景成
;
刘国利
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机构:
湖南玉丰真空科学技术有限公司
湖南玉丰真空科学技术有限公司
刘国利
;
欧阳杰
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机构:
湖南玉丰真空科学技术有限公司
湖南玉丰真空科学技术有限公司
欧阳杰
;
李国强
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机构:
湖南玉丰真空科学技术有限公司
湖南玉丰真空科学技术有限公司
李国强
.
中国专利
:CN120025163A
,2025-05-23
[10]
一种钼钠合金旋转靶的制备方法
[P].
张灵杰
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张灵杰
;
彭光辉
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彭光辉
;
杨雷雷
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杨雷雷
;
岳慎伟
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岳慎伟
.
中国专利
:CN110396667A
,2019-11-01
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