一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202411929912.7
申请日
2024-12-26
公开(公告)号
CN119733824B
公开(公告)日
2025-10-03
发明(设计)人
文宏福 李培林
申请人
广东欧莱高新材料股份有限公司 广东欧莱新金属材料有限公司
申请人地址
512000 广东省韶关市武江区创业路5号C幢厂房
IPC主分类号
B22F1/00
IPC分类号
B22F3/04 B22F3/14 C22F1/18 C22F1/02
代理机构
北京天盾知识产权代理有限公司 11421
代理人
林晓宏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
广东省 韶关市
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共 50 条
[1]
一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法 [P]. 
文宏福 ;
李培林 .
中国专利 :CN119733824A ,2025-04-01
[2]
一种钼钛合金靶材的制备方法 [P]. 
白锋 ;
于洋 ;
赖亚洲 ;
彭福生 ;
庄志刚 ;
宋久鹏 ;
石涛 ;
王帆 ;
郑艾龙 .
中国专利 :CN103060760A ,2013-04-24
[3]
一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法 [P]. 
李培林 ;
文宏福 .
中国专利 :CN110158042B ,2019-08-23
[4]
一种大型高纯钼合金旋转靶材的制造方法 [P]. 
张灵杰 .
中国专利 :CN106567048B ,2017-04-19
[5]
一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法 [P]. 
吴宇宁 ;
卿海标 .
中国专利 :CN113463053A ,2021-10-01
[6]
一种钼钛合金靶材的制备方法 [P]. 
边逸军 ;
姚力军 ;
李建 ;
周友平 .
中国专利 :CN120924825A ,2025-11-11
[7]
一种大尺寸钼靶材的制备方法 [P]. 
章林 ;
李星宇 ;
曲选辉 ;
熊宁 ;
刘国辉 ;
秦明礼 ;
陈刚 ;
张百成 ;
王广达 ;
魏子晨 ;
阙忠游 ;
杨军军 .
中国专利 :CN114574821A ,2022-06-03
[8]
一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法 [P]. 
张灵杰 .
中国专利 :CN113463042A ,2021-10-01
[9]
一种SAZO合金旋转靶材的制备方法 [P]. 
温景成 ;
刘国利 ;
欧阳杰 ;
李国强 .
中国专利 :CN120025163A ,2025-05-23
[10]
一种钼钠合金旋转靶的制备方法 [P]. 
张灵杰 ;
彭光辉 ;
杨雷雷 ;
岳慎伟 .
中国专利 :CN110396667A ,2019-11-01