一种SAZO合金旋转靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510349061.7

申请日：

2025-03-24

公开(公告)号：

CN120025163A

公开(公告)日：

2025-05-23

发明(设计)人：

温景成刘国利欧阳杰李国强

申请人：

湖南玉丰真空科学技术有限公司

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/645 C23C14/34 C23C14/08

代理机构：

湖南正则奇美专利代理事务所(普通合伙) 43105

代理人：

罗浩

法律状态：

公开

国省代码：

湖南省湘潭市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-23	公开	公开
2025-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20250324

共 50 条

[1]

一种SAZO合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114438460A ,2022-05-06

[2]

一种氧化锌铝AZO合金靶材的制备方法 [P].

温景成 ;

刘国利 ;

欧阳杰 ;

李国强 .

中国专利 :CN120192159A ,2025-06-24

[3]

一种Cd合金旋转靶材的加工方法 [P].

余飞 ;

江佩庭 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN115055924A ,2022-09-16

[4]

一种钨钼合金旋转靶材的生产方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN106513684B ,2017-03-22

[5]

一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法 [P].

李培林 ;

文宏福 .

中国专利 :CN110158042B ,2019-08-23

[6]

一种硅基合金旋转靶材及其制备方法 [P].

周其刚 ;

黄德燕 ;

马敬山 .

中国专利 :CN101921988A ,2010-12-22

[7]

一种基于热喷涂工艺的锌锡合金旋转靶材制备工艺 [P].

戈金鹏 ;

韩刚库 ;

谭露晓 .

中国专利 :CN120272848A ,2025-07-08

[8]

一种磁光记录介质镀膜用稀土过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN105803406B ,2016-07-27

[9]

一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法 [P].

文宏福 ;

李培林 .

中国专利 :CN119733824A ,2025-04-01

[10]

一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法 [P].

文宏福 ;

李培林 .

中国专利 :CN119733824B ,2025-10-03

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