一种SAZO合金靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202011230860.6

申请日：

2020-11-06

公开(公告)号：

CN114438460A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

黄永香

申请人：

申请人地址：

410300 湖南省湘潭市湘潭经开区大众东路2号办公楼301室

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1414

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	公开	公开
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20201106

共 50 条

[1]

一种钛铝合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114525479A ,2022-05-24

[2]

一种氧化锌铝合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114436640A ,2022-05-06

[3]

一种SAZO合金旋转靶材的制备方法 [P].

温景成 ;

刘国利 ;

欧阳杰 ;

李国强 .

中国专利 :CN120025163A ,2025-05-23

[4]

一种氧化铟锡合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114436642A ,2022-05-06

[5]

一种铟锡合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114525482A ,2022-05-24

[6]

一种钼钾合金靶材的制备方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN106513664B ,2017-03-22

[7]

一种金硼合金靶材的制备方法 [P].

操齐高 ;

郑晶 ;

姜婷 ;

贾志华 ;

马光 ;

李银娥 ;

张科 .

中国专利 :CN103898460A ,2014-07-02

[8]

一种氧化锌铝AZO合金靶材的制备方法 [P].

温景成 ;

刘国利 ;

欧阳杰 ;

李国强 .

中国专利 :CN120192159A ,2025-06-24

[9]

一种铝钛合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

张怡忠 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN118390011A ,2024-07-26

[10]

一种高纯钌基合金靶材的制备方法 [P].

赵琪 ;

陈静洪 ;

施晨琦 ;

闻明 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

李治东 ;

刘牛 .

中国专利 :CN118875285A ,2024-11-01

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