一种氧化铟锡合金靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202011233273.2

申请日：

2020-11-06

公开(公告)号：

CN114436642A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

黄永香

申请人：

申请人地址：

410300 湖南省湘潭市湘潭经开区大众东路2号办公楼301室

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B3501 C04B35622 C04B35645 C23C1408

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	公开	公开
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20201106

共 50 条

[1]

一种铟锡合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114525482A ,2022-05-24

[2]

一种氧化锌铝合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114436640A ,2022-05-06

[3]

一种SAZO合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114438460A ,2022-05-06

[4]

低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 ;

杨淑敏 ;

刘洋 ;

梁鹏 ;

赵旭 ;

齐超 ;

张雨 ;

仇晨 .

中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22

[5]

氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28

[6]

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

何建进 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103274699A ,2013-09-04

[7]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924A ,2024-08-16

[8]

一种低氧化锡含量的氧化铟锡靶材及其制备方法 [P].

方志杰 ;

莫曼 ;

谭泽旦 ;

姜峰 ;

黄誓成 ;

王凯 ;

曾纪术 ;

王永清 .

中国专利 :CN118495924B ,2025-06-10

[9]

氧化铟锡钽靶材的制备方法 [P].

刘文杰 ;

钟小华 ;

童培云 .

中国专利 :CN112110721B ,2020-12-22

[10]

氧化铟锡靶材浆料的制备方法 [P].

柴卫平 .

中国专利 :CN102013279B ,2012-02-22

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