一种晶圆分区加热装置及控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111104954.3

申请日：

2021-09-18

公开(公告)号：

CN113838780A

公开(公告)日：

2021-12-24

发明(设计)人：

邓岗

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区临港新片区旭日路501号1幢201、202室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H05B102

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	公开	公开
2022-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210918

共 50 条

[1]

一种晶圆加热装置及其控制方法 [P].

邓岗 .

中国专利 :CN113838779A ,2021-12-24

[2]

晶圆加热装置及控制方法 [P].

吴承璋 ;

赵弘文 .

中国专利 :CN111725113A ,2020-09-29

[3]

分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法 [P].

周典虬 ;

杨健 ;

郜福亮 ;

林翔 ;

樊建 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN111885755A ,2020-11-03

[4]

一种晶圆加热装置 [P].

孙士强 .

中国专利 :CN203787397U ,2014-08-20

[5]

晶圆加热装置 [P].

邵留宝 ;

何西登 ;

黄天宇 ;

韩阳 ;

刘鼎新 ;

赵运翔 ;

郭倩 .

中国专利 :CN119381285A ,2025-01-28

[6]

一种控制晶圆翘曲的加热装置 [P].

孙群峰 ;

梁新夫 ;

赵强 ;

向金贝 .

中国专利 :CN218182172U ,2022-12-30

[7]

晶圆的加热装置及加热方法 [P].

王彦沣 ;

薛磊 ;

欧登松 ;

刘星星 .

中国专利 :CN118471868A ,2024-08-09

[8]

晶圆的加热装置及加热方法 [P].

王彦沣 ;

薛磊 ;

欧登松 ;

刘星星 .

中国专利 :CN118471868B ,2024-09-06

[9]

加热烘干装置及晶圆腐蚀清洗设备 [P].

郭森 ;

高冲 ;

赵聪 .

中国专利 :CN120799911A ,2025-10-17

[10]

晶圆加热装置、套刻标记及装置控制方法 [P].

吕燕 ;

张祥平 .

中国专利 :CN117894719A ,2024-04-16

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