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加热烘干装置及晶圆腐蚀清洗设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511133321.3
申请日：
2025-08-13
公开(公告)号：
CN120799911A
公开(公告)日：
2025-10-17
发明(设计)人：
郭森 高冲 赵聪
申请人：
杭州晶驰机电有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号信息港五期一号楼205-14
IPC主分类号：
F26B21/00
IPC分类号：
F26B25/00 B08B3/12
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
林英然
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-17 公开 公开
2025-11-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):F26B 21/00申请日:20250813
共 50 条
[1]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
丁明正 ;
李亭亭 ;
刘金彪 .
中国专利 :CN112017999A ,2020-12-01
[2]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
丁明正 .
中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15
[3]
晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
徐俊成 ;
刘福生 ;
刘效岩 ;
康凯祥 .
中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14
[4]
晶圆清洗装置 [P]. 
徐融 ;
王俊 .
中国专利 :CN119230439A ,2024-12-31
[5]
晶圆承载装置及晶圆清洗设备 [P]. 
程龙跃 ;
张晓燕 ;
徐融 .
中国专利 :CN118486636A ,2024-08-13
[6]
晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P]. 
惠世鹏 .
中国专利 :CN110473773A ,2019-11-19
[7]
晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P]. 
金京宰 .
中国专利 :CN118610072A ,2024-09-06
[8]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
何家鑫 ;
何艳红 ;
赵光远 .
中国专利 :CN118751588A ,2024-10-11
[9]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
初国超 .
中国专利 :CN111081603B ,2024-02-27
[10]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
初国超 .
中国专利 :CN111081603A ,2020-04-28
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