可旋转的晶圆盒开盒器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721588995.3

申请日：

2017-11-24

公开(公告)号：

CN207558771U

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

吴功邹磊周锐

申请人：

申请人地址：

201100 上海市闵行区万芳路555号1号楼202室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙) 31270

代理人：

张维东

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆盒开盒器的晶圆状态检测系统 [P].

申勇 ;

季滔 ;

顾俊 .

中国专利 :CN223052103U ,2025-07-01

[2]

可替代晶圆盒的一键开盒工装 [P].

孙晓东 ;

侯君 .

中国专利 :CN223638332U ,2025-12-05

[3]

用于晶圆盒的双工位装载开盒器 [P].

冯跃跃 ;

周锐 ;

沈一 ;

郝铭芯 .

中国专利 :CN223693074U ,2025-12-19

[4]

晶圆盒的开盖装置 [P].

王柏仁 ;

萧擎宇 .

中国专利 :CN223023246U ,2025-06-24

[5]

晶圆盒开合装置 [P].

孙斌 .

中国专利 :CN208861955U ,2019-05-14

[6]

一种晶圆盒开盒器的锁紧机构 [P].

季滔 ;

顾俊 ;

申勇 .

中国专利 :CN222507610U ,2025-02-18

[7]

一种晶圆盒开盒器的移动平台 [P].

季滔 ;

顾俊 ;

申勇 .

中国专利 :CN222530393U ,2025-02-25

[8]

一种晶圆盒开盒机构 [P].

陈曙光 ;

林坚 ;

王彭 .

中国专利 :CN217114345U ,2022-08-02

[9]

晶圆盒底盘及晶圆盒 [P].

董健 ;

陈思安 ;

张珏 ;

姚笛 .

中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06

[10]

一种具有检测功能的晶圆盒开盒器 [P].

黄兴治 ;

魏然 ;

胡敏刚 ;

洪敏珏 .

中国专利 :CN223728736U ,2025-12-26

← 1 2 3 4 5 →