用于晶圆盒的双工位装载开盒器

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422829370.8
申请日
2024-11-20
公开(公告)号
CN223693074U
公开(公告)日
2025-12-19
发明(设计)人
冯跃跃 周锐 沈一 郝铭芯
申请人
无锡富创得智能科技有限公司
申请人地址
214111 江苏省无锡市新吴区梅村街道梅育路100号7幢一楼东侧
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/677
代理机构
重庆商贝知识产权代理事务所(普通合伙) 50323
代理人
龙钰
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
用于晶圆盒的装载开盒机构 [P]. 
倪萌 ;
李壮 ;
陈垒 ;
何升学 .
中国专利 :CN117524957A ,2024-02-06
[2]
用于晶圆盒的装载开盒机构 [P]. 
倪萌 ;
李壮 ;
陈垒 ;
何升学 .
中国专利 :CN117524957B ,2024-03-19
[3]
一种双工位自动晶圆盒开盖机 [P]. 
曹承余 .
中国专利 :CN213150747U ,2021-05-07
[4]
可旋转的晶圆盒开盒器 [P]. 
吴功 ;
邹磊 ;
周锐 .
中国专利 :CN207558771U ,2018-06-29
[5]
晶圆盒真空装载装置 [P]. 
戴建波 ;
朱磊 ;
孙文彬 .
中国专利 :CN114937626B ,2022-08-23
[6]
晶圆盒输送装载系统 [P]. 
吴功 .
中国专利 :CN206711878U ,2017-12-05
[7]
一种晶圆盒开盒器的晶圆状态检测系统 [P]. 
申勇 ;
季滔 ;
顾俊 .
中国专利 :CN223052103U ,2025-07-01
[8]
晶圆装载盒清洗装置 [P]. 
李丹 ;
高英哲 ;
张文福 ;
叶日铨 ;
刘家桦 .
中国专利 :CN208840147U ,2019-05-10
[9]
晶圆盒的开盖装置 [P]. 
王柏仁 ;
萧擎宇 .
中国专利 :CN223023246U ,2025-06-24
[10]
晶圆盒开合装置 [P]. 
孙斌 .
中国专利 :CN208861955U ,2019-05-14