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晶圆盒的开盖装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422178149.0
申请日：
2024-09-05
公开(公告)号：
CN223023246U
公开(公告)日：
2025-06-24
发明(设计)人：
王柏仁 萧擎宇
申请人：
三和技研股份有限公司
申请人地址：
中国台湾新竹县芎林乡五龙村五和街228号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马雯雯;黄健
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-24 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆存储盒开盖装置 [P]. 
王振荣 ;
刘红兵 .
中国专利 :CN204407299U ,2015-06-17
[2]
晶圆料盒的开盖装置 [P]. 
许玉斌 .
中国专利 :CN216698317U ,2022-06-07
[3]
晶圆存储盒开盖装置 [P]. 
王振荣 ;
刘红兵 .
中国专利 :CN104576461A ,2015-04-29
[4]
晶圆盒开盖转移装置 [P]. 
肖宇 ;
陶源 ;
岳湘 .
中国专利 :CN220627764U ,2024-03-19
[5]
晶圆输送盒开合盖装置 [P]. 
梁猛 ;
赵凯 ;
林海涛 ;
李彬 ;
邵迪 .
中国专利 :CN216773203U ,2022-06-17
[6]
一种晶圆料盒开盖机构 [P]. 
林邦羽 ;
沈阳 ;
翁鑫晶 .
中国专利 :CN223501842U ,2025-10-31
[7]
晶圆盒开合装置 [P]. 
孙斌 .
中国专利 :CN208861955U ,2019-05-14
[8]
一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置 [P]. 
施钦天 ;
屠国强 ;
刘志鹏 ;
崔佳伟 .
中国专利 :CN223390497U ,2025-09-26
[9]
一种晶圆盒开盖设备 [P]. 
任潮群 ;
崔建敏 ;
韦国强 ;
陈泳 ;
杨冬野 .
中国专利 :CN117476525A ,2024-01-30
[10]
一种晶圆盒开盖设备 [P]. 
任潮群 ;
崔建敏 ;
韦国强 ;
陈泳 ;
杨冬野 .
中国专利 :CN117476525B ,2024-03-12
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