晶圆盒真空装载装置

被引：0

申请号：

CN202210880915.0

申请日：

2022-07-26

公开(公告)号：

CN114937626B

公开(公告)日：

2022-08-23

发明(设计)人：

戴建波朱磊孙文彬

申请人：

申请人地址：

226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

宋家会

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220726
2022-09-27	授权	授权
2022-08-23	公开	公开

共 50 条

[1]

兼容多尺寸晶圆盒的装载装置 [P].

王旭东 ;

寇欣 ;

郭晋竹 ;

马增刚 .

中国专利 :CN120015646A ,2025-05-16

[2]

晶圆装载装置 [P].

张恒 ;

计骏 ;

周琦 .

中国专利 :CN206363994U ,2017-07-28

[3]

一种可检测晶圆盒门状态的晶圆装载装置及晶圆装载方法 [P].

彭召洋 .

中国专利 :CN120933213A ,2025-11-11

[4]

晶圆装载装置 [P].

薛增辉 ;

鲍伟成 ;

张胜森 ;

葛敬昌 ;

张普 ;

叶莹 .

中国专利 :CN114758974A ,2022-07-15

[5]

一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 [P].

吕天爽 ;

苏建生 .

中国专利 :CN112103231A ,2020-12-18

[6]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[7]

晶圆装载装置和晶圆传送装置 [P].

张效进 ;

蒋开伟 .

中国专利 :CN221102054U ,2024-06-07

[8]

晶圆装载装置及晶圆检测设备 [P].

曾安 ;

唐寿鸿 ;

陈建强 ;

朱充 .

中国专利 :CN114743912A ,2022-07-12

[9]

用于晶圆盒的装载开盒机构 [P].

倪萌 ;

李壮 ;

陈垒 ;

何升学 .

中国专利 :CN117524957A ,2024-02-06

[10]

用于晶圆盒的装载开盒机构 [P].

倪萌 ;

李壮 ;

陈垒 ;

何升学 .

中国专利 :CN117524957B ,2024-03-19

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