一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011285956.2

申请日：

2020-11-17

公开(公告)号：

CN112103231A

公开(公告)日：

2020-12-18

发明(设计)人：

吕天爽苏建生

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

黄灿;顾春天

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-18	公开	公开
2021-03-02	授权	授权
2021-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20201117

共 50 条

[1]

一种晶圆盒装载装置 [P].

戚孝峰 ;

周鹏程 .

中国专利 :CN212725271U ,2021-03-16

[2]

一种晶圆盒装载台 [P].

高佳 ;

段金燕 .

中国专利 :CN221149958U ,2024-06-14

[3]

晶圆装载装置 [P].

张恒 ;

计骏 ;

周琦 .

中国专利 :CN206363994U ,2017-07-28

[4]

一种气缸驱动的晶圆盒装载装置 [P].

倪萌 ;

李壮 ;

陈垒 ;

丁光宇 .

中国专利 :CN222394787U ,2025-01-24

[5]

一种检测设备及晶圆盒装载装置 [P].

李少雷 ;

马砚忠 ;

张朝前 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN209087796U ,2019-07-09

[6]

一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒装载输送系统 [P].

卢证凯 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN112864066B ,2021-05-28

[7]

兼容型开放式晶圆盒装载装置 [P].

魏坤 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN119905440B ,2025-11-07

[8]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[9]

兼容型开放式晶圆盒装载装置 [P].

魏坤 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN119905440A ,2025-04-29

[10]

晶圆装载装置和晶圆传送装置 [P].

张效进 ;

蒋开伟 .

中国专利 :CN221102054U ,2024-06-07

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