兼容型开放式晶圆盒装载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510312325.1

申请日：

2025-03-17

公开(公告)号：

CN119905440B

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

魏坤相宇阳俞胜武

申请人：

无锡卓海科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区珠江路97号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/68

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

刘臣刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250317
2025-11-07	授权	授权
2025-04-29	公开	公开

共 50 条

[1]

兼容型开放式晶圆盒装载装置 [P].

魏坤 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN119905440A ,2025-04-29

[2]

一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 [P].

吕天爽 ;

苏建生 .

中国专利 :CN112103231A ,2020-12-18

[3]

兼容式半导体晶圆浸泡片盒装置 [P].

戴红峰 ;

王一 ;

刘迟 .

中国专利 :CN210296325U ,2020-04-10

[4]

一种晶圆盒装载门 [P].

李玉慧 ;

张正中 ;

王正国 .

中国专利 :CN223612392U ,2025-11-28

[5]

兼容多尺寸晶圆盒的装载装置 [P].

王旭东 ;

寇欣 ;

郭晋竹 ;

马增刚 .

中国专利 :CN120015646A ,2025-05-16

[6]

一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒装载输送系统 [P].

卢证凯 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN112864066B ,2021-05-28

[7]

一种晶圆盒装载装置 [P].

戚孝峰 ;

周鹏程 .

中国专利 :CN212725271U ,2021-03-16

[8]

一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法 [P].

陆敏杰 ;

王兆昆 ;

刘毫毫 .

中国专利 :CN120527285A ,2025-08-22

[9]

一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法 [P].

陆敏杰 ;

王兆昆 ;

刘毫毫 .

中国专利 :CN120527285B ,2025-10-21

[10]

一种气缸驱动的晶圆盒装载装置 [P].

倪萌 ;

李壮 ;

陈垒 ;

丁光宇 .

中国专利 :CN222394787U ,2025-01-24

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