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一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510983790.8
申请日：
2025-07-17
公开(公告)号：
CN120527285B
公开(公告)日：
2025-10-21
发明(设计)人：
陆敏杰 王兆昆 刘毫毫
申请人：
无锡星微科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区旺庄街道机电工业园锡霞路5号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67 G01B21/00 G01B11/00
代理机构：
北京国翰知识产权代理事务所(普通合伙) 11696
代理人：
王薇
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 无锡市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-22 公开 公开
2025-10-21 授权 授权
2025-09-09 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250717
共 50 条
[1]
一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 ;
刘毫毫 .
中国专利 :CN120527285A ,2025-08-22
[2]
晶圆盒装载设备及晶圆盒装载设备的控制方法 [P]. 
王振强 ;
苗兆忠 ;
徐国丽 ;
下野智成 .
中国专利 :CN120954999A ,2025-11-14
[3]
晶圆盒装载设备 [P]. 
倪萌 ;
李壮 ;
陈垒 ;
周太君 ;
丁光宇 .
中国专利 :CN118335660A ,2024-07-12
[4]
一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 [P]. 
吕天爽 ;
苏建生 .
中国专利 :CN112103231A ,2020-12-18
[5]
兼容多尺寸晶圆盒的装载装置 [P]. 
王旭东 ;
寇欣 ;
郭晋竹 ;
马增刚 .
中国专利 :CN120015646A ,2025-05-16
[6]
一种兼容多尺寸晶圆盒的智能装载设备及控制方法 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 ;
刘毫毫 .
中国专利 :CN120565475B ,2025-10-21
[7]
一种兼容多尺寸晶圆盒的智能装载设备及控制方法 [P]. 
陆敏杰 ;
王兆昆 ;
刘毫毫 .
中国专利 :CN120565475A ,2025-08-29
[8]
一种多尺寸晶圆装载平台 [P]. 
杨佳硕 ;
刘冬梅 ;
王强 ;
王勇 .
中国专利 :CN117352438B ,2024-03-22
[9]
一种多尺寸晶圆装载平台 [P]. 
杨佳硕 ;
刘冬梅 ;
王强 ;
王勇 .
中国专利 :CN117352438A ,2024-01-05
[10]
晶圆装载设备 [P]. 
刘凯 ;
倪明明 ;
吴宗祐 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN209496840U ,2019-10-15
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