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一种兼容多尺寸晶圆盒的智能装载设备及控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511047153.6
申请日：
2025-07-29
公开(公告)号：
CN120565475B
公开(公告)日：
2025-10-21
发明(设计)人：
陆敏杰
王兆昆
刘毫毫
申请人：
无锡星微科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区旺庄街道机电工业园锡霞路5号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/68
代理机构：
北京国翰知识产权代理事务所(普通合伙) 11696
代理人：
王薇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250729 |
| 2025-08-29 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-21 | 授权 | 授权 |