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一种晶圆盒装载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021992907.8
申请日：
2020-09-12
公开(公告)号：
CN212725271U
公开(公告)日：
2021-03-16
发明(设计)人：
戚孝峰
周鹏程
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L21673
H01L2167
代理机构：
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人：
苏利
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-16 | 授权 | 授权 |