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一种检测设备及晶圆盒装载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822278649.6
申请日：
2018-12-29
公开(公告)号：
CN209087796U
公开(公告)日：
2019-07-09
发明(设计)人：
李少雷
马砚忠
张朝前
陈鲁
申请人：
申请人地址：
518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285
代理人：
王仲凯
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-05 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人 变更前:深圳中科飞测科技有限公司 变更后:深圳中科飞测科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更后:518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 |
| 2019-07-09 | 授权 | 授权 |