一种晶圆检测机构及晶圆装载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511242630.4

申请日：

2025-09-02

公开(公告)号：

CN120741508B

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

王志龙闫威省闫省

申请人：

江苏恒业半导体技术有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市江苏南通苏锡通科技产业园区莫干山路1号C厂房

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/88 G01N21/01 H01L21/66 H01L21/677

代理机构：

南通方略纵横知识产权代理事务所(普通合伙) 32607

代理人：

张素庆

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省南通市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	公开	公开
2025-11-07	授权	授权
2025-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250902

共 50 条

[1]

一种晶圆检测机构及晶圆装载装置 [P].

王志龙 ;

闫威省 ;

闫省 .

中国专利 :CN120741508A ,2025-10-03

[2]

晶圆装载装置及晶圆检测设备 [P].

曾安 ;

唐寿鸿 ;

陈建强 ;

朱充 .

中国专利 :CN114743912A ,2022-07-12

[3]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[4]

晶圆检测装置及晶圆装载设备 [P].

徐益飞 ;

吴灿 ;

杜振东 ;

孟恒 ;

赵毅斌 ;

雷传 .

中国专利 :CN221650234U ,2024-09-03

[5]

一种晶圆检测组件及晶圆装载系统 [P].

朱玉东 ;

严梦 ;

刘玮 ;

赵渠 .

中国专利 :CN223680061U ,2025-12-16

[6]

一种可检测晶圆盒门状态的晶圆装载装置及晶圆装载方法 [P].

彭召洋 .

中国专利 :CN120933213A ,2025-11-11

[7]

一种晶圆检测机构及晶圆检测设备 [P].

陈思乡 ;

张苏远 ;

杜振东 ;

吴灿 ;

孟恒 .

中国专利 :CN120847136A ,2025-10-28

[8]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[9]

晶圆检测机构、检测方法及晶圆传输装置 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117038495B ,2024-01-30

[10]

一种晶圆装载装置及晶圆传输设备 [P].

薛增辉 ;

孟亚东 ;

张胜森 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN222146166U ,2024-12-10

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