一种晶圆装载装置

被引：0

申请号：

CN202220560206.X

申请日：

2022-03-15

公开(公告)号：

CN217182147U

公开(公告)日：

2022-08-12

发明(设计)人：

李晓辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区华佗路68号6幢

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京启坤知识产权代理有限公司 11655

代理人：

李琛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆装载装置 [P].

齐心 ;

徐海洋 ;

梁清波 .

中国专利 :CN120977905A ,2025-11-18

[2]

一种晶圆装载装置 [P].

郑川 ;

王振峰 .

中国专利 :CN118136567A ,2024-06-04

[3]

一种晶圆装载装置 [P].

齐心 ;

徐海洋 ;

梁清波 .

中国专利 :CN117116804B ,2025-08-19

[4]

晶圆装载装置 [P].

张恒 ;

计骏 ;

周琦 .

中国专利 :CN206363994U ,2017-07-28

[5]

晶圆装载装置 [P].

薛增辉 ;

鲍伟成 ;

张胜森 ;

葛敬昌 ;

张普 ;

叶莹 .

中国专利 :CN114758974A ,2022-07-15

[6]

一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法 [P].

吕天爽 ;

苏建生 .

中国专利 :CN112103231A ,2020-12-18

[7]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[8]

一种晶圆检测机构及晶圆装载装置 [P].

王志龙 ;

闫威省 ;

闫省 .

中国专利 :CN120741508B ,2025-11-07

[9]

一种晶圆检测机构及晶圆装载装置 [P].

王志龙 ;

闫威省 ;

闫省 .

中国专利 :CN120741508A ,2025-10-03

[10]

一种晶圆装载装置及晶圆传输设备 [P].

薛增辉 ;

孟亚东 ;

张胜森 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN222146166U ,2024-12-10

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