共 50 条
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用于晶圆盒的装载开盒机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410021695.5
申请日：
2024-01-08
公开(公告)号：
CN117524957A
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
倪萌
李壮
陈垒
何升学
申请人：
上海大族富创得科技股份有限公司
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
张浪
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-19 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240108 |
| 2024-02-06 | 公开 | 公开 |