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晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111090805.6
申请日：
2021-09-17
公开(公告)号：
CN113745142B
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
吴功 倪萌 李壮
申请人：
上海大族富创得科技股份有限公司
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
王瑞
法律状态：
授权
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-18 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
李壮 .
中国专利 :CN113745142A ,2021-12-03
[2]
夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
李壮 .
中国专利 :CN216120258U ,2022-03-22
[3]
用于晶圆盒的装载开盒机构 [P]. 
倪萌 ;
李壮 ;
陈垒 ;
何升学 .
中国专利 :CN117524957A ,2024-02-06
[4]
用于晶圆盒的装载开盒机构 [P]. 
倪萌 ;
李壮 ;
陈垒 ;
何升学 .
中国专利 :CN117524957B ,2024-03-19
[5]
一种晶圆盒开盒机构 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217114345U ,2022-08-02
[6]
一种晶圆盒用开盒机构及晶圆传输机 [P]. 
李宁宁 ;
杨森元 ;
郝瀚 .
中国专利 :CN222851408U ,2025-05-09
[7]
晶圆输送盒开合盖装置 [P]. 
梁猛 ;
赵凯 ;
林海涛 ;
李彬 ;
邵迪 .
中国专利 :CN216773203U ,2022-06-17
[8]
夹持机构以及晶圆清洗装置 [P]. 
张美美 ;
徐俊成 ;
王鹏 ;
刘豫东 .
中国专利 :CN119480775A ,2025-02-18
[9]
夹持机构以及晶圆清洗装置 [P]. 
张美美 ;
徐俊成 ;
王鹏 ;
刘豫东 .
中国专利 :CN223612410U ,2025-11-28
[10]
一种小型晶圆盒开盒设备 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217114344U ,2022-08-02
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