共 50 条
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夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122256497.1
申请日：
2021-09-17
公开(公告)号：
CN216120258U
公开(公告)日：
2022-03-22
发明(设计)人：
吴功
倪萌
李壮
申请人：
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
王瑞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-22 | 授权 | 授权 |