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一种双工位自动晶圆盒开盖机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022644782.6
申请日：
2020-11-16
公开(公告)号：
CN213150747U
公开(公告)日：
2021-05-07
发明(设计)人：
曹承余
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区嵩山路185-10号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
B08B1702
代理机构：
苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483
代理人：
陈钢
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-07 | 授权 | 授权 |