晶圆装载盒清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821242990.X

申请日：

2018-08-02

公开(公告)号：

CN208840147U

公开(公告)日：

2019-05-10

发明(设计)人：

李丹高英哲张文福叶日铨刘家桦

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B08B908

IPC分类号：

B08B9093 B08B1300

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒清洗装置及清洗设备 [P].

方周翔 ;

邵树宝 ;

陈国才 .

中国专利 :CN220387394U ,2024-01-26

[2]

晶圆盒自动清洗装置 [P].

吴良辉 .

中国专利 :CN202290684U ,2012-07-04

[3]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[4]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[5]

晶圆清洗装置 [P].

杨勇 ;

杜亮 ;

常延武 .

中国专利 :CN203124337U ,2013-08-14

[6]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203437362U ,2014-02-19

[7]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[8]

晶圆清洗装置 [P].

潘东林 ;

高英哲 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209947804U ,2020-01-14

[9]

晶圆清洗装置 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

陈概礼 .

中国专利 :CN204407301U ,2015-06-17

[10]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

李俊 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220553429U ,2024-03-01

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