晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420871807.8

申请日：

2014-12-31

公开(公告)号：

CN204407301U

公开(公告)日：

2015-06-17

发明(设计)人：

王振荣刘红兵陈概礼

申请人：

申请人地址：

201616 上海市松江区思贤路3600号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	授权	授权
2018-01-12	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20141231 授权公告日:20150617 放弃生效日:20180112

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

陈概礼 .

中国专利 :CN104658947A ,2015-05-27

[2]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[3]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[4]

晶圆清洗装置 [P].

杨勇 ;

杜亮 ;

常延武 .

中国专利 :CN203124337U ,2013-08-14

[5]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203437362U ,2014-02-19

[6]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[7]

晶圆清洗装置 [P].

潘东林 ;

高英哲 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209947804U ,2020-01-14

[8]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

李俊 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220553429U ,2024-03-01

[9]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[10]

晶圆切片清洗装置 [P].

吴业禹 ;

李帅 .

中国专利 :CN220426180U ,2024-02-02

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