晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920754595.8

申请日：

2019-05-23

公开(公告)号：

CN209947804U

公开(公告)日：

2020-01-14

发明(设计)人：

潘东林高英哲张文福刘家桦叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

国省代码：

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法律状态公告日

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法律状态信息

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

吴良辉 .

中国专利 :CN202398591U ,2012-08-29

[2]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[3]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[4]

晶圆清洗装置 [P].

杨勇 ;

杜亮 ;

常延武 .

中国专利 :CN203124337U ,2013-08-14

[5]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203437362U ,2014-02-19

[6]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[7]

晶圆清洗装置 [P].

何家鑫 ;

舒福璋 ;

石启鹏 ;

崔云承 ;

罗付 ;

何艳红 .

中国专利 :CN221861601U ,2024-10-18

[8]

晶圆清洗装置 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

陈概礼 .

中国专利 :CN204407301U ,2015-06-17

[9]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

李俊 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220553429U ,2024-03-01

[10]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

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