晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420433634.5

申请日：

2024-03-06

公开(公告)号：

CN221861601U

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

何家鑫舒福璋石启鹏崔云承罗付何艳红

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/687 B08B3/02 B08B3/08 B08B1/12 B08B1/20 B08B1/32

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

刘家聪

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

吴良辉 .

中国专利 :CN202398591U ,2012-08-29

[2]

晶圆清洗装置 [P].

潘东林 ;

高英哲 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209947804U ,2020-01-14

[3]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[4]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[5]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

[8]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213781994U ,2021-07-23

[9]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202443959U ,2012-09-19

[10]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

董文杰 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

黄孝鹏 .

中国专利 :CN202621481U ,2012-12-26

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