晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410853888.3

申请日：

2014-12-31

公开(公告)号：

CN104658947A

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

王振荣刘红兵陈概礼

申请人：

申请人地址：

201616 上海市松江区思贤路3600号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	授权	授权
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614580049 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014108538883 申请日:20141231
2015-05-27	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

陈概礼 .

中国专利 :CN204407301U ,2015-06-17

[2]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[3]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 ;

李在桓 ;

陈光林 ;

曲迪 ;

张迪 .

中国专利 :CN114999967B ,2025-07-25

[4]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陶泽魏 ;

胡海波 ;

刘阳 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN118116825A ,2024-05-31

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[6]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 ;

李在桓 ;

陈光林 ;

曲迪 ;

张迪 .

中国专利 :CN114999967A ,2022-09-02

[7]

晶圆清洗装置 [P].

唐卫 .

中国专利 :CN110694991A ,2020-01-17

[8]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[9]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[10]

晶圆清洗装置 [P].

朱小凡 ;

赵黎 .

中国专利 :CN109411393A ,2019-03-01

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