一种氮化硅卡帽及制备方法、多晶硅还原炉用硅芯固定组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911267278.4

申请日：

2019-12-11

公开(公告)号：

CN112939609A

公开(公告)日：

2021-06-11

发明(设计)人：

黄彬马建军潘小龙张吉武苏春阳宗鑫刘彬

申请人：

申请人地址：

831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新技术开发区（新市区）甘泉堡经济技术开发区（工业园）面广东街2499号研发楼七层

IPC主分类号：

C04B35584

IPC分类号：

C01B33035

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

罗建民;邓伯英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-10-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/584 申请日:20191211
2021-06-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩及其制备方法 [P].

赵振威 ;

王惠忠 ;

杨晓佳 ;

胡刚 ;

胡磊 ;

倪金华 .

中国专利 :CN105819450A ,2016-08-03

[2]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的制备方法 [P].

邹景良 ;

丁艳 ;

张伟儒 ;

李新 .

中国专利 :CN101962297B ,2011-02-02

[3]

多晶硅还原炉用硅芯电极 [P].

周积卫 ;

茅陆荣 ;

程佳彪 ;

郝振良 .

中国专利 :CN201326032Y ,2009-10-14

[4]

多晶硅还原炉用硅芯电极 [P].

周积卫 ;

茅陆荣 ;

程佳彪 ;

郝振良 .

中国专利 :CN101440519B ,2009-05-27

[5]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置 [P].

丁建 .

中国专利 :CN212944360U ,2021-04-13

[6]

硅芯棒组件和多晶硅还原炉 [P].

倪海江 ;

潘宏启 ;

李海军 ;

陈文明 ;

陈其顺 .

中国专利 :CN202766303U ,2013-03-06

[7]

用于多晶硅制备的硅芯夹持组件及还原炉 [P].

施光明 ;

王琳 ;

李宇辰 ;

吉红平 ;

何乃栋 ;

郭光伟 .

中国专利 :CN214936091U ,2021-11-30

[8]

多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法 [P].

秦文军 ;

银波 ;

范协诚 ;

王文 ;

王瑞聪 ;

罗飞飞 ;

胡颖 ;

杜新 ;

夏高强 .

中国专利 :CN108285146B ,2018-07-17

[9]

多晶硅还原炉用硅芯夹持装置 [P].

周积卫 ;

程佳彪 ;

郝振良 ;

陈杰 .

中国专利 :CN201372204Y ,2009-12-30

[10]

多晶硅还原炉用石墨组件 [P].

曾品华 .

中国专利 :CN205710425U ,2016-11-23

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