一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010512995.1

申请日：

2010-10-20

公开(公告)号：

CN101962297B

公开(公告)日：

2011-02-02

发明(设计)人：

邹景良丁艳张伟儒李新

申请人：

申请人地址：

100018 北京市朝阳区东坝红松园一号院

IPC主分类号：

C04B35584

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

杨立

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C04B 35/584 登记生效日:20201019 变更事项:专利权人变更前权利人:北京中材人工晶体研究院有限公司变更后权利人:中材人工晶体研究院有限公司变更事项:地址变更前权利人:100018 北京市朝阳区东坝红松园一号院变更后权利人:100018 北京市朝阳区东坝红松园1号变更事项:专利权人变更后权利人:北京中材人工晶体研究院有限公司
2011-02-02	公开	公开
2013-05-22	授权	授权
2011-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101059290428 IPC(主分类):C04B 35/584 专利申请号:2010105129951 申请日:20101020

共 50 条

[1]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置 [P].

丁建 .

中国专利 :CN212944360U ,2021-04-13

[2]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩及其制备方法 [P].

赵振威 ;

王惠忠 ;

杨晓佳 ;

胡刚 ;

胡磊 ;

倪金华 .

中国专利 :CN105819450A ,2016-08-03

[3]

一种氮化硅卡帽及制备方法、多晶硅还原炉用硅芯固定组件 [P].

黄彬 ;

马建军 ;

潘小龙 ;

张吉武 ;

苏春阳 ;

宗鑫 ;

刘彬 .

中国专利 :CN112939609A ,2021-06-11

[4]

多晶硅还原炉的底盘和多晶硅还原炉 [P].

韩锋 ;

田新 ;

史言回 ;

孟锦 ;

桑九龙 ;

张思楠 ;

卢文 .

中国专利 :CN216737605U ,2022-06-14

[5]

多晶硅还原炉的硅芯结构、多晶硅还原炉 [P].

李宇辰 ;

马辉 ;

胡西军 ;

吉红平 ;

王琳 ;

施光明 ;

郭光伟 ;

李勇明 ;

童占忠 ;

祁永双 ;

韩玲 ;

王秀菊 .

中国专利 :CN216512891U ,2022-05-13

[6]

一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法 [P].

张嵘 ;

刘久明 .

中国专利 :CN106400109A ,2017-02-15

[7]

一种多晶硅还原炉复合涂层及其制备方法、多晶硅还原炉 [P].

虎慧 ;

胡雷 ;

王文 ;

周克虎 ;

刘丹丹 ;

刘浩 ;

赵雅兰 ;

穆凯代斯·太外库力 .

中国专利 :CN120249865A ,2025-07-04

[8]

多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法 [P].

秦文军 ;

银波 ;

范协诚 ;

王文 ;

王瑞聪 ;

罗飞飞 ;

胡颖 ;

杜新 ;

夏高强 .

中国专利 :CN108285146B ,2018-07-17

[9]

一种多晶硅还原炉底盘以及多晶硅还原炉 [P].

王文 ;

银波 ;

刘兴平 ;

范协诚 ;

冯留建 ;

何隆 ;

穆凯代斯·太外库力 .

中国专利 :CN220999257U ,2024-05-24

[10]

多晶硅还原炉的涂层及其制备方法、多晶硅还原炉及其用途 [P].

张宝顺 ;

王体虎 ;

宗冰 .

中国专利 :CN111334788A ,2020-06-26

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