一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610187498.6

申请日：

2016-03-29

公开(公告)号：

CN105819450A

公开(公告)日：

2016-08-03

发明(设计)人：

赵振威王惠忠杨晓佳胡刚胡磊倪金华

申请人：

申请人地址：

201805 上海市嘉定区安亭镇于塘路885号1幢1层B区

IPC主分类号：

C01B33035

IPC分类号：

C04B35584 C04B35622 F27D1700

代理机构：

上海科盛知识产权代理有限公司 31225

代理人：

褚明伟

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B 33/035 申请公布日:20160803
2016-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101676761184 IPC(主分类):C01B 33/035 专利申请号:2016101874986 申请日:20160329
2016-08-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的制备方法 [P].

邹景良 ;

丁艳 ;

张伟儒 ;

李新 .

中国专利 :CN101962297B ,2011-02-02

[2]

一种氮化硅陶瓷摩擦片及其制备方法与应用 [P].

赵振威 ;

王惠忠 ;

杨晓佳 ;

胡刚 .

中国专利 :CN105837226B ,2016-08-10

[3]

一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置 [P].

丁建 .

中国专利 :CN212944360U ,2021-04-13

[4]

一种氮化硅卡帽及制备方法、多晶硅还原炉用硅芯固定组件 [P].

黄彬 ;

马建军 ;

潘小龙 ;

张吉武 ;

苏春阳 ;

宗鑫 ;

刘彬 .

中国专利 :CN112939609A ,2021-06-11

[5]

一种多晶硅铸锭用坩埚的氮化硅涂层及其制备方法 [P].

李健 ;

李聪 ;

谢炎 ;

高源 .

中国专利 :CN109020626B ,2018-12-18

[6]

一种多晶硅还原炉复合涂层及其制备方法、多晶硅还原炉 [P].

虎慧 ;

胡雷 ;

王文 ;

周克虎 ;

刘丹丹 ;

刘浩 ;

赵雅兰 ;

穆凯代斯·太外库力 .

中国专利 :CN120249865A ,2025-07-04

[7]

一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法 [P].

肖志超 ;

苏君明 ;

侯卫权 ;

张瑞 ;

谢英姿 ;

聂道俊 ;

李永军 ;

薛宁娟 .

中国专利 :CN102992325B ,2013-03-27

[8]

一种黑色氮化硅陶瓷及其制备方法 [P].

包金小 ;

任喆 ;

王青春 ;

阮飞 ;

马雨威 ;

李红霞 ;

尚炜翔 ;

刘国奇 ;

海文智 .

中国专利 :CN118146009A ,2024-06-07

[9]

多晶硅还原炉的涂层及其制备方法、多晶硅还原炉及其用途 [P].

张宝顺 ;

王体虎 ;

宗冰 .

中国专利 :CN111334788A ,2020-06-26

[10]

一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩 [P].

陆佩蓉 .

中国专利 :CN207632509U ,2018-07-20

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